http://www.ras.ru/publishing/rasherald/rasherald_articleinfo.aspx?articleid=9d3f804e-be4c- 4828-be9e-a057d22b54ed&print=1
© 2024 Российская академия наук

Информация о статье

Название:Коротковолновая проекционная нанолитография
Авторы:Чхало Н.И., Салащенко Н.Н.
Рубрика:С кафедры Президиума РАН
Месторасположение:        Журнал №5, 2008-го года. С.450.
Файл статьи:Открыть файл