Нетепловой механизм лазерного отжига полупроводников и образование сверхструктуры
Общая информация
.
,
Капаев В.В.
,
Молотков С.Н.
Микроэлектронника
,
Т.12,N6
, 01.1983 , с. C.499-511
Copyright ©
БЕН РАН.
Наш адрес:
119991 ГСП-1 Москва В-71, Ленинский просп., 14
Телефон: 938-0309 (Справ. бюро)
Факс: (495)954-3320 (Лен.пр.,14), (495)938-1844 (Лен.пр.,32а)
Назад