Малогабаритное устройство для магнетронного распыления
Общая информация
Лыков А.Н.
,
Махашвили Л.И.
,
Дедю В.И.
Пр.ФИАН
,
N92
, 01.1987 , с. 8 c.
Copyright ©
БЕН РАН.
Наш адрес:
119991 ГСП-1 Москва В-71, Ленинский просп., 14
Телефон: 938-0309 (Справ. бюро)
Факс: (495)954-3320 (Лен.пр.,14), (495)938-1844 (Лен.пр.,32а)
Назад