Резонансная лазерно-стимулированная диффузия кислорода в кремнии
Общая информация
Кудрявцев Е.М.
,
Зотов С.Д.
,
Арцимович М.В.
,
Баранов А.Н.
,
Могильник И.Ф.
,
Павлович В.Н.
,
Романюк Б.Н.
,
Сорока В.И.
,
Токаревский В.В.
Пр.ФИАН
,
N164
, 01.1989 , с. 37 c.
Copyright ©
БЕН РАН.
Наш адрес:
119991 ГСП-1 Москва В-71, Ленинский просп., 14
Телефон: 938-0309 (Справ. бюро)
Факс: (495)954-3320 (Лен.пр.,14), (495)938-1844 (Лен.пр.,32а)
Назад