Микроэлектронника , 01.1994    Включает:   Сибельдин Н.Н. ,     Цветков В.А. ,     Пудонин С.А. ,     Мельник Н.Н. Исследование и контроль качества многослойных планарных структур методами комбинационного рассеяния света и люминесценции , 01.1994 Copyright © БЕН РАН.

	Наш адрес: 119991 ГСП-1 Москва В-71, Ленинский просп., 14 Телефон: 938-0309 (Справ. бюро) Факс: (495)954-3320 (Лен.пр.,14), (495)938-1844 (Лен.пр.,32а)	Назад