Исследование и контроль качества многослойных планарных структур методами комбинационного рассеяния света и люминесценции
Общая информация
Сибельдин Н.Н.
,
Цветков В.А.
,
Пудонин С.А.
,
Мельник Н.Н.
Микроэлектронника
,
Ч.I
, 01.1994 , с. C.125-126
Copyright ©
БЕН РАН.
Наш адрес:
119991 ГСП-1 Москва В-71, Ленинский просп., 14
Телефон: 938-0309 (Справ. бюро)
Факс: (495)954-3320 (Лен.пр.,14), (495)938-1844 (Лен.пр.,32а)
Назад