http://www.ras.ru/presidium/documents/directions.aspx?ID=9c45b94f-a485-4229-94f1-dab0e2035 2fb&print=1
© 2024 Российская академия наук
РОССИЙСКАЯ АКАДЕМИЯ НАУК
ПРЕЗИДИУМ
ПОСТАНОВЛЕНИЕ
Об утверждении основных направлений научной деятельности
Учреждения Российской академии наук Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
(представление Отделения нанотехнологий и информационных технологий)
Президиум Российской академии наук ПОСТАНОВЛЯЕТ:
1. Утвердить основные направления научной деятельности Учреждения Российской академии наук Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН:
физико-химические основы перспективных технологий создания элементной базы наноэлектроники и микроэлектроники; а также наносистемной и микросистемной техники;
физические основы перспективных методов диагностики структур наноэлектроники и микроэлектроники, разработка диагностической аппаратуры;
физические основы рентгеновской оптики и методов управления рентгеновским лучом, разработка методов рентгеновской и электронной литографии и микроскопии;
исследование электрических, магнитных и оптических свойств нано-метровых и квантоворазмерных структур с целью поиска новых физических принципов построения элементной базы наноэлектроники и микроэлектроники, а также наносистемной и микросистемной техники;
исследование и разработка физико-химических методов получения и анализа высокочистых и функциональных материалов наноэлектроники и микроэлектроники.
2. Директору Учреждения Российской академии наук Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН доктору физико-математических наук Тулину В.А. представить на утверждение в установленном порядке соответствующие изменения в Устав Института.
3. Контроль за выполнением настоящего постановления возложить на и.о. академика-секретаря Отделения нанотехнологий и информационных технологий РАН академика Велихова Е.П.
И.о. президента Российской академии наук
академик А.Д.Некипелов
Главный ученый секретарь Президиума Российской академии наук
академик В.В.Костюк