Российская академия наук    
     
   

Общая информация
Общие сведения
Историческая справка
Направления деятельности
Прочая информация
Проекты
Публикации


 
Login Print view Help 

Поиск атрибутный
  Организаций
  Персон

Структура учреждений РАН




Агеев Олег Алексеевич

Агеев О.А. - специалист в области активируемых физико-химических процессов синтеза иерархических наноматериалов и наноструктур, разработки процессов создания элементов наноэлектроники и наносистемной техники лучевыми и плазменными методами, автор и соавтор более 300 научных работ, из них 11 монографий, 23 авторских свидетельств и патентов.

Основные научные результаты Агеева О.А.:

разработаны физико-технологические основы процессов создания наноструктур и элементов наноэлектроники и наносистемной техники лучевыми и плазменными методами;

разработаны физические основы нанолитографии методами фотонностимулированного
локального анодного окисления и фокусированных ионных пучков;

разработаны физико-технологические основы формирования контактов к интегральным структурам приборов экстремальной электроники на основе карбида кремния, методами импульсной термообработки и электронно-лучевой обработки. Полученные научные результаты использованы при проведении более чем 50 НИОКР и внедрены на ряде ведущих предприятий, неоднократно представлялись на крупнейших выставках в России и за рубежом.

Агеев О.А. ведет преподавательскую работу в должности профессора, в качестве научного руководителя подготовил 12 кандидатов технических наук.

Агеев О.А. - член редколлегии журналов «Нано- и микросистемная техника», «Известия ЮФУ. Технические науки», «Инженерный вестник Дона», входящих в перечень ВАК при Минобрнауки России; межведомственной рабочей группы по направлению «Инфраструктура научных исследований» при Совете по науке и образованию при Президенте РФ; Экспертного совета по электронике, измерительной технике, радиотехнике и связи ВАК при Минобрнауки России; двух диссертационных советов, эксперт РФФИ, РНФ и Государственной дирекции целевой научно-технической программы.

Ключевые слова

Нанотехнологии


Последние изменения: 25.10.2017


119991 Москва, Ленинский просп., 14
Телефон: (495) 938-0309 (Справ. бюро); Факс: (495) 954-3320 (Лен.пр.14), (495) 938-1844 (Лен.пр,32а)
На главную страницу
В начало страницы
© РАН 2007