|
Поиск атрибутный
| ![](../img/spacer.gif) |
|
|
![](../img/spacer.gif) |
Агеев Олег Алексеевич
Агеев О.А. - специалист в области активируемых физико-химических процессов синтеза иерархических наноматериалов и наноструктур, разработки процессов создания элементов наноэлектроники и наносистемной техники лучевыми и плазменными методами, автор и соавтор более 300 научных работ, из них 11 монографий, 23 авторских свидетельств и патентов.
Основные научные результаты Агеева О.А.:
разработаны физико-технологические основы процессов создания наноструктур и элементов наноэлектроники и наносистемной техники лучевыми и плазменными методами;
разработаны физические основы нанолитографии методами фотонностимулированного
локального анодного окисления и фокусированных ионных пучков;
разработаны физико-технологические основы формирования контактов к интегральным структурам приборов экстремальной электроники на основе карбида кремния, методами импульсной термообработки и электронно-лучевой обработки. Полученные научные результаты использованы при проведении более чем 50 НИОКР и внедрены на ряде ведущих предприятий, неоднократно представлялись на крупнейших выставках в России и за рубежом.
Агеев О.А. ведет преподавательскую работу в должности профессора, в качестве научного руководителя подготовил 12 кандидатов технических наук.
Агеев О.А. - член редколлегии журналов «Нано- и микросистемная техника», «Известия ЮФУ. Технические науки», «Инженерный вестник Дона», входящих в перечень ВАК при Минобрнауки России; межведомственной рабочей группы по направлению «Инфраструктура научных исследований» при Совете по науке и образованию при Президенте РФ; Экспертного совета по электронике, измерительной технике, радиотехнике и связи ВАК при Минобрнауки России; двух диссертационных советов, эксперт РФФИ, РНФ и Государственной дирекции целевой научно-технической программы.
Ключевые слова Нанотехнологии |
|