|
Поиск атрибутный
| |
|
|
|
Лабунов Владимир Архипович
Лабунов В.А. – всемирно признанный специалист в области микро- и наноэлектроники, в том числе в разработке кремний-углеродной компонентной базы информационных и коммуникационных систем.
Создал научное направление по разработке автоматизированных интегрированных
замкнутых технологий производства интегральных микросхем.
Разработал высокоэффективные базовые электрохимические процессы производства элементов полупроводниковых и гибридных
интегральных микросхем;
ионно-плазменные, ионно-лучевые, импульсные ламповые, лазерные фотохимические технологические процессы индивидуальной обработки полупроводниковых пластин.
Более 550 научных работ и более 500 изобретений.
Заслуженный изобретатель БССР, лауреат премии Президиума АН СССР за лучшие фундаментальные разработки в области микроэлектроники (1978), лауреат Государственной премии Республики Беларусь (1992);
награжден орденами Октябрьской Революции (1986), Трудового Красного Знамени (1981).
Почётный член Нанотехнологического общества России, проводит совместные исследования с Институтом радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Физико-технологическим институтом РАН и Институтом нанотехнологий микроэлектроники РАН. Ключевые слова Микроэлектроника и элементная база |
|