Виноградов В.С. ,     Сибельдин Н.Н. ,     Болтаев А.П. ,     Казаков И.П. ,     Цехош В.И. ,     Рзаев М.М. Микроэлектроника , Т.27,N6 , 01.1998 , с. C.423-430   Copyright © БЕН РАН.