Мурзин В.Н. ,     Журкин Б.Г. ,     Митягин Ю.А. ,     Карузский А.Л. ,     Мельник Н.Н. ,     Цикунов А.В. ,     Пересторонин А.В. ,     Богонин И.А. ,     Волчков Н.А. ,     Орликовский А.А. ,     Свербиль П.П. ,     Ткаченко С.Д. Микроэлектроника , Т.25,N3 , 01.1996 , с. C.203-210   Copyright © БЕН РАН.