. ,     Сибельдин Н.Н. ,     Болтаев А.П. ,     Корняков Н.В. ,     Лойко Н.Н. ,     Турьянский А.Г. ,     Рзаев М.М. Всерос. научно-техн. конф. "Микро- и наноэлектроника-98", Звенигород, 26-30 апреля 1999 , Т.1 , 01.1999 , с. С.2-6   Copyright © БЕН РАН.