Микроэлектронника , 01.1994    Включает:   Сибельдин Н.Н. ,     Цветков В.А. ,     Пудонин С.А. ,     Мельник Н.Н. Исследование и контроль качества многослойных планарных структур методами комбинационного рассеяния света и люминесценции , 01.1994 Copyright © БЕН РАН.